HISEMI TECHNOLÓGIA
Nedávno spoločnosť HISEMI TECHNOLOGY oficiálne uviedla na trh novú generáciu dvojmiestneho laboratórneho presného brúsneho a leštiaceho zariadenia. Nový produkt sa zameriava na scenáre brúsenia a leštenia malých dávok vzoriek pre tvrdé a krehké materiály, ako sú polovodiče tretej -generácie, optické kryštály a špeciálna keramika, čím sa vypĺňa medzera v lokalizácii vysoko presných zariadení na prípravu vzoriek v domácom vedeckom výskume.
Vývoj nových polovodičových materiálov vyvolal dopyt po precíznom brúsení a leštení
S rýchlou expanziou polovodičového priemyslu tretej-generácie, ako je karbid kremíka (SiC) a nitrid gália (GaN), veľké univerzity, výskumné ústavy a výskumné a vývojové laboratóriá polovodičových podnikov neustále zvyšujú svoje požiadavky na rovinnosť substrátu, presnosť hrúbky a indikátory drsnosti povrchu. Tradičné brúsne zariadenie s jednou stanicou má bolestivé body, ako je nízka účinnosť spracovania, nerovnomerná kontrola tlaku a zlá opakovateľnosť procesu. Dovážané presné brúsne zariadenia majú tiež problémy, ako sú vysoké obstarávacie náklady, dlhé cykly údržby a ťažkosti s prispôsobením a transformáciou. Na základe skutočných potrieb domáceho výskumu a vývoja nových materiálov sa Hemei Semiconductor spolieha na dlhoročné skúsenosti vo výskume a vývoji presných brúsnych zariadení, iteračne optimalizuje konštrukčný dizajn a implementuje tento dvojstaničný inteligentný presný brúsny a leštiaci stroj.
Dizajn s dvoma stanicami dosahuje zlepšenie efektivity procesu
1. Nezávislý dizajn duálnej stanice: Zariadenie je vybavené dvoma sadami nezávislých pracovných staníc a prispôsobený prípravok (Jjg) je vybavený digitálnym modulom na monitorovanie hrúbky, ktorý dokáže sledovať množstvo odoberanej vzorky v reálnom čase online, s presnosťou 1 μm a nastaviteľným tlakom prípravku. Dizajn s dvojitou stanicou dokáže spracovať a upraviť tvar disku v rovnakom čase a môže tiež súčasne spracovať väčší počet vzoriek, čo je takmer dvakrát efektívnejšie ako tradičné jednostrojové spracovanie.
2. Inteligentný dotykový systém riadenia procesu využíva priemyselný dotykový operačný systém Huichuan INOVANCE, ktorý podporuje ukladanie a získavanie viacerých sád receptúr procesu brúsenia. Dokáže presne nastaviť rýchlosť brúsneho kotúča, čas brúsenia, tlakové zaťaženie a parametre rozprašovania brúsnej kvapaliny a jednoduchým spôsobom pristupovať k vyspelým procesom jediným kliknutím, čo výrazne znižuje ľudskú chybu a zabezpečuje konzistentnosť pri spracovaní vzoriek.
3. Presný systém prívodu kvapalín je štandardne dodávaný s 2 nezávislými potrubiami na kvapkanie brúsnej kvapaliny, ktoré môžu dodávať spotrebný materiál, ako je kvapalina na brúsenie diamantov a leštiaca kvapalina na báze oxidu hlinitého v reálnom čase podľa procesu brúsenia, optimalizovať prostredie povrchového brúsenia, účinne znižovať zlomenie okraja plátku a škrabance a prispôsobiť sa rôznym typom tvrdých a krehkých substrátov, ako sú kremíkové doštičky, pie-keramické plátky, siliide.
4. Dizajn tela na štandardizáciu bezpečnosti: Zariadenie má integrované telo odolné voči hrdzi, vybavené bezpečnostným tlačidlom núdzového zastavenia a vypínačom na ochranu napájania. Konštrukcia je kompaktná a zaberá malú plochu, dokonale sa prispôsobí prostrediu laboratórneho pultu, vyvažuje stabilitu zariadenia a prevádzkovú bezpečnosť.
Príprava výskumných vzoriek pokrývajúcich viacero oblastí
Toto nové zariadenie je zamerané hlavne na tri hlavné oblasti použitia:
1. Výskum a vývoj polovodičov tretej generácie: riedenie SiC/GaN substrátu, zrkadlové leštenie, používané na prípravu vzorky pred testovaním fyzikálnych a chemických vlastností materiálu a elektrických vlastností;
2. Optika a kryštálový priemysel: Presné leštenie optického skla, zafírových substrátov a koncových plôch z kremenného kryštálu, aby vyhovovali potrebám vzoriek na testovanie výkonu optického povlaku a priepustnosti svetla;
3. Oblasť výskumu nových materiálov: brúsenie a leštenie špeciálnych anorganických ne-kovových materiálov, ako je keramika z oxidu hlinitého, niobát lítny, arzenid gália, diamantové kompozitné materiály atď.
Urýchlite domáci proces nahrádzania zariadení na presné brúsenie
V minulosti sa špičkové-zariadenia na presné laboratórne brúsenie v Číne dlho spoliehali na dovážané modely z Európy, Ameriky a Japonska. Implementácia tohto dvojpolohového brúsneho a leštiaceho stroja od spoločnosti Hemei Semiconductor porovnala podobné dovážané produkty z hľadiska presnosti spracovania a inteligentného riadenia a zároveň výrazne znížila obstarávacie a pooperačné náklady. Zariadenie bolo uvedené do skúšobného používania na niekoľkých univerzitách Double First Class v Číne, vrátane School of Materials Science and Technology, Key Laboratory of Third Generation Semiconductors a R&D Center of Leading Power Semiconductor Enterprises.
Priemyselná analýza ukazuje, že so zrýchľovaním procesu lokalizácie polovodičov tretej{0}}generácie a pokročilých optických materiálov v Číne neustále rastie dopyt po lokalizácii laboratórnych presných zariadení na predbežné spracovanie-. Miestni výrobcovia zariadení pokračujú v iterácii svojej technológie, čo ešte viac prelomí monopol zámorských značiek a zlepší podporný domáci priemyselný reťazec výroby polovodičových nových materiálov.
